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质谱计与真空计复合电源
申请专利号
85200266
专利申请日
19850401
名称
质谱计与真空计复合电源
公开(公告)号
0000000
公开(公告)日
类别
H01J 49/26、G01L 21/32
申请(专利权)人
南京工学院、南京分析仪器厂
地址
江苏省南京市四牌楼二号
发明(设计)人
毛福明、徐巾奎
专利代理机构
东南大学专利事务所
代理人
楼高潮
摘要
质谱计与真空计复合电路属于一种可以进行真空度测量的小型质谱计。质谱计电源通过转换开关变换成谱通热阴极电离真空计电流,它既倮持了质谱计的原有切能,又可以配用普通热阴极电离真空计规管作精确真空度测量。解决了在质谱计离子源中设置一个离子收集极,或用四极质谱计积分谱作真空度测量的不准确性等缺点。
主权项
一种质谱计和真空计复合电源由质谱计电源和热阴极电离真空计电源组成,其特征在于复合电源中,离子流放大器[3]和阴极发射电流稳定器[4]通用,质谱计离子源和真空计规管的电极供电电源用开关[S↓[1]]转换,压强传感器采用真空计规管。
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