多工作模式的液态金属聚焦离子枪
申请专利号 85202460
专利申请日 19850626
名称 多工作模式的液态金属聚焦离子枪
公开（公告）号 0000000
公开（公告）日
类别 H01J 37/08
申请（专利权）人 北京师范大学、电子工业部北京第12研究所
地址 北京(80)新街口外大街北太平庄
发明（设计）人 华明达、周风声、王亦曼、张贻英
专利代理机构
代理人
摘要
多工作模式的液态金属聚焦离子枪是适用科研用途的微细加工和分析之工具。其特点在于①采用固定电极，②阳极针可作大幅度滑动，③配以不同的电极接线位置，从而构成多种工作模式。其中有将阳极针伸出第一电极，以第一电极为栅极，第二电极为引出极，构成栅控工作模式；此外还可构成离子源方式、简单聚焦离子枪方式、能量调节方式等。采用可多装料的钽制同轴针外套。并且可从尾部任意换用同轴针型阳极或毛细管型阳极。
主权项
一种以改变阳极针［１］与引出电极［３］和［５］的相对位置而决定工作模式的液态金属聚焦离子枪，其特征是，电极［３］和［５］是固定的，阳极针［１］连接到滑杆［１０］上，而滑杆［１０］又在支座［９］中沿Ｚ轴可作大幅度滑动。

    0 人评论

    提交您的看法