| 联接在一个气体分配导管上的流过纯净气体的中间存储装置，它具备至少一个高压储存器，至少一个低压储存器至少一个升压压缩机，其特征为：无论是低压储存器（７，８）的进气导管（１７，１８）或是高压储存器（９，１０）上的出气导管（４３，４４）均和气体分配导管（１）相联接，在联接低压储存器与高压储存器的联接导管（１１）中至少装入一个升压压缩机，并且由压力传感器（２５，２６，２７，２８，４１，４２，５１，５２，５３，５４，６１，６２）调节的阀（１９，２０，２１，２２，３９，４０，４５，４６，４９，５０，５９，６０）装设在低压储存器和高压储存器的进气导管及出气导管之中。 |