腐蚀性流体用的管路系统
申请专利号 89216720
专利申请日 19890919
名称 腐蚀性流体用的管路系统
公开（公告）号 0000000
公开（公告）日
类别 F17D 1/08
申请（专利权）人 陈棣
地址 北京市北京国棉一厂32楼2单元22号
发明（设计）人 陈棣
专利代理机构 北京市第三专利代理事务所
代理人 张永虎
摘要
本实用新型为制取半导体材料的外延炉的管道系统，主要包括阀、阀座、管道系统中各种流体的容器等，其特点是所有阀门都安装在一个共同的阀座上，阀座内有若干孔，连成管路系统所要求的通路。该种管路系统的优点是接口少，泄漏少，维修容易，安装简便，占用面积小，结构紧凑，外形美观，减少操作人员吸入有害气体，有利于人身健康，采用聚四氟乙烯材料制成阀座和阀的零件，有利于保持流体纯度和保证产品质量。
主权项
一种腐蚀性流体用的管路系统，包括管路系统中所含各种规格类型的阀，阀座，管路系统中各种流体的容器及其它零部件，其特征是管路系统中所有阀门都安装在一个阀座上，阀座内有若干孔，按管路系统的要求连成通路。

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