处理制造电子器件所产生的废气的装置
申请专利号 88102703
专利申请日 19880510
名称 处理制造电子器件所产生的废气的装置
公开（公告）号 1030129
公开（公告）日 19890104
类别 F23G 7/06
申请（专利权）人 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
地址 法国 巴黎
发明（设计）人 拉芬·丹尼斯、平漱立男
专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 张卫民
摘要
本发明涉及对电子元件生产中产生的废气产物进行处理的一个方法。废气由某种惰性气体抽吸出来，与经过预加热的氧化气体完全混合，并在足够的温度下保持充分长时间的接触以完成焚化，再通过热交换冷却氧化生成物至凝结，然后收集固态的氧化物，洗涤残存气体，并沿气流形成递减的压降。本发明还涉及实现上述方法的一种焚化装置。
主权项
一种利用氧化ＣＶＤ类型的废气进行连续不断处理的方法，其特征为，废气由一种惰性载气气体抽取，再与一种予热的氧化气体完全混合，并在足够的温度下保持充分长时间的相互接触以进行焚化，然后用热交换器将氧化生成物冷却到凝结，收集固体氧化生成物，洗涤残余气体，并沿气流形成一个递减的压降。

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