| 一种真空压力供给器，特征在于由相互独立之空间组成的两个室分别由弹性材料构成的隔板分开，区分成第一室和中介以隔板而与之相邻的第二室，以及第三室和中介以隔板而与之相邻的第四室，在第一室中设有与真空供给源相连通的调压孔以及通向需调压至目标真空压力值之对象空间的开口部，同时在将此第一室与第二室相分开之隔板的一端上安装有一个相对着一调压孔的阀体，此调压孔的开度则可根据该隔板的位移进行调节；第二室通过一些小孔与上述真空供给源相连通，同时具有与第三室连通的空气导入孔；第三室中设有对向上述空气导入孔的导阀，它通过分开第三室与第四室之隔板的位移，调节着经此空气导入孔从第三室输向第二室之空气流量，同时设有通向大气或上述第一室之开口部；而第四室则与真空供给源通连，同时备有利用弹力来支承构成它与第三室之边界的隔板之手段。 |