| 申请专利号 |
85106536 |
| 专利申请日 |
19850830 |
| 名称 |
形成铂电阻温度计的方法 |
| 公开（公告）号 |
1009570 |
| 公开（公告）日 |
19870318 |
| 类别 |
G01K 7/18、H01C 7/00 |
| 申请（专利权）人 |
罗斯蒙德公司 |
| 地址 |
美国.明尼苏达州55344埃登普拉尔.西第78街12001 |
| 发明（设计）人 |
罗伯特.C.伯哈拉、詹姆斯.A.鲁夫 |
| 专利代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人 |
付康 |
| 摘要 |
| 在一工艺中形成铂电阻温度计，该工艺包括在淀积在衬底上的惰性介质上确定供电阻温度计用的通路；将通路中的衬底表面暴露出，使惰性介质形成反图；然后将电阻材料同时淀积在通路中露出的衬底表面和保留在衬底上的惰性材料表面，此后，隋性材料被腐蚀掉，这样淀积在隋性材料上的电阻材料就松动，可清除，于是在形成电阻温度计的所需线路上留下电阻材料条。该电阻条污染少，杂质浓度低，因而可容易地获得所需电阻温度系数的温度计。 |
| 主权项 |
| 一个具有回折铂电阻带状的铂电阻温度计，该铂电阻带在一衬底上形成一个图形，其中铂是在活性环境下淀积到衬底上的，步骤包括： 将衬底预热至某一选定的高温； 在衬底上溅射淀积铂至所需厚度； 在溅射淀积铂的同时，将衬底温度控制在选定的高温。 |