| 半导体差压发信器设置有:将第一构件(10)和第2构件(11)接合起来,形成具有与中心线大致垂直的第1、第2侧面和连接这两个侧面的外周面的形状,上述第1构件(10)和第2构件(11)相互接合在横切上述中心线的分割部分内形成边缘密闭的空间,这样的受压部分;安装在上述第1侧面上并与该第1侧面之间形成第1受压室(15)的第1受压膜片(13);安装在上述第2侧面上并与该第2侧面之间形成第2受压室(14)的第2受压膜片(12);插入上述第1构件与上述分割部分相接的侧面上凹部内的、具有与上述中心线大致垂直配置的膜片式差压传感器(21)的、并由该压差传感器形成分割的第1测定室(27)和第2测定室(26)的差压传感组合体(100);固定上述组合体(100)用的,配合在上述凹部周壁和上述组合体(100)之间并焊接在该周壁和组合体(100)上的板状附件(30);在上述受压部分的分割部分内与上述中心线大致垂直挟持在上述第1构件(10)和第2构件(11)中的、分割上述第1构件(10)和第2构件(11)之间的上述空间并形成第1隔离室(18)和第2隔离室(17)的中心膜片;将上述第1受压室(15)、第1隔离室(18)和第1测定室(27)顺次用细导通路(20、29)连接起来,同时向各个室内充填非压缩性流体,上述第1受压膜片(13)所受的第1外部压力通过上述流体传到上述第1测定室(27),并加在上述差压传感器(21)的一个侧面上,另外,将上述第2受压室(14)、第2隔离室(17)和第2测定室(26)顺次用细导通路(19、28)连接起来,同时向各个室内充填非压缩性流体,上述第2受压膜片(12)所受的第2外部压力通过上述流体传到上述第2测定室(26),并加在上述差压式传感器(21)的另一侧面上,因此,由上述差压传感器将上述第1外部压力和第2外部压力的差压检测出来,其特征在于, 上述第1构件(10)和第二构件(11)在上述分割部分内的各个接合面在其边缘部分形成互补的形状,两个构件接合时的边界线显露在上述受压部分的外周面上,沿着该边界线将两个构件焊接起来。 |