| 一种由半导体力敏元件和腔体所组成的小型流体传感器，其特征在于所说的力敏元件是采用整体硅杯结构，将八个力敏电阻分布在（００１）晶面上的＜１１０＞晶向上。所说腔体外腔室是由端盖（１），紧固螺帽（２），流体接口（３），“Ｏ”型密封圈（４），不锈钢膜片（５）所组成。所说的力敏元件的固定方式是由“Ｏ”型密封圈（９）、（１０），通过压板（１１），固定在腔体上。 Ａ：八个力敏电阻中有四个分布在０．８～０．９８ｒ之间，有四个分布在０．５～０．６ｒ之间（ｒ指硅杯半径）。 Ｂ：将不锈钢膜片（５），直接压焊在腔体的端盖（１）上。 Ｃ：把流体接口（３）采用与不锈钢膜片（５）直径相近的压紧螺帽和端盖（１）相接。 |