| 申请专利号 |
85108071 |
| 专利申请日 |
19851011 |
| 名称 |
采用脆性薄膜的压力检测单元 |
| 公开（公告）号 |
1000554 |
| 公开（公告）日 |
19860410 |
| 类别 |
G01L 9/12、G01L 13/06 |
| 申请（专利权）人 |
罗斯蒙德公司 |
| 地址 |
美国明尼苏达州55344.埃登普拉尔 |
| 发明（设计）人 |
索马斯.A.克尼特、罗格.L.弗里克、约翰.P.舒尔特 |
| 专利代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人 |
张卫民 |
| 摘要 |
| 一种适于以成批处理的方式生产的电容检测单元，该单元采用刚性材料（如玻璃）的衬底和脆性半导体的膜片组件．膜片组件和衬底用阳极法粘接在一起．在膜片或衬底上形成一个很浅的凹槽以容纳淀积的电容器极板，两个这样的组件被连接在一起并将组件充入不可压缩的流体以使膜片从衬底稍向外弯曲．通过检测两个膜片的相对位置而检测出膜片组件之间的压力差． |
| 主权项 |
| 一种具有第一和第二传感器部分的差值压力传感器组件； 所述第一和第二传感器部分各包括一对板，第一块板为脆性半导体材料，而第二块板为刚性绝缘材料，所述的板最初沿着它们的第一表面相互间基本上相临接，并沿着一条环绕线而封接在一起，该第一表面的某些部分不连接，以允许每一传感器部分的所述第一半导体板相对于同一传感器部分的另一块板而运动，从而分别在第一和第二传感器部分中形成第一和第二腔； 每个所述的第二块板在其面对相应传感器部分的所述半导体板的第一表面上具有电容电极装置，以便通过测量半导体板和电容电极之间的电容值来测量所述相对表面间隔的变化； 分别连接所述的第一和第二腔的流体管道装置； 一定量的基本上不可压缩的流体填充在所述第一和第二腔内和所述的流体管道装置中，以便将半导体板与第二块分离开； 外壳装置，以允许将每一传感器部分的至少一块板置于压力之下，该压力倾向于将形成每一传感器部分的两块板向一起移动，作用在相应传感器部分上的压力差至少有时与作用在另一个传感器部分上的压力不同，由此，不可压缩的流体将被迫从一个腔流向另一个腔，并导致在一个所述传感器部分中板的弯曲应力增大而另一个传感器部分中板的弯曲应力减小； 所述的另一个传感器部分达到这样一种状况，其中在形成前一个传感器部分的任意一块板达到一个过大的应力水平之前形成另一个腔的两块板的第一和第二表面即已基本上邻接在一起。 |