一种单晶材料的抗弯曲强度机械测量装置
申请专利号 85201254
专利申请日 19850401
名称 一种单晶材料的抗弯曲强度机械测量装置
公开（公告）号 0000000
公开（公告）日
类别 G01N 3/20
申请（专利权）人 复旦大学
地址 上海市邯郸路220号
发明（设计）人 顾孝义、宗祥福
专利代理机构 复旦大学专利事务所
代理人 王福新
摘要
该装置是针对各向异性的晶体材料需进行抗弯曲强度测量而提出来的．该装置包括一个特殊设计的样品架，一套由下而上连续加载测力机构和位移传感器．它可以通过调节样品架上２４个螺钉位置，使单晶片与样品架呈多点式接触，以适应（１００）、（１１１）等晶向材料的抗弯曲强度测量．测量不用切割样品，并能用于φ３３φ１２５毫米各种圆片材料的直接测量．该装置是半导体器件工艺过程中，控制投片质量的理想检测工具．
主权项
一种单晶材料抗弯曲强度机械测量装置，由样品架、加载测力机构、带有一只千分表的测位移传感器和电阻式应变测试仪组成。本实用新型特征在于：样品架由可以放置各种直径单晶圆片的圆形样品架〔１〕，固定样品的内卡圈〔２〕组成。测力加载机构由一只加载齿轮〔１２〕加载丝杆〔８〕与其配套的“Ｔ”型下导向器〔９〕组成。测力传感器由扁环形合金材料传感器〔７〕，“Ｔ”型上导向器〔５〕，上加载机构〔３〕组成。

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