| 本发明提供一种用液体化学品的蒸汽饱和气体的系统及方法。所说的系统包括：（ａ）用于接收液体化学品和载气的饱和容器；（ｂ）在饱和容器中用来将载气喷射到液体化学品中的气体喷射器；（ｃ）用于将液体化学品在饱和容器中保持为基本上恒定含量的装置；（ｄ）用于将液体化学品在饱和容器中的温度控制到所需值的装置，包括（ｉ）用于冷却液体化学品的系统和（ｉｉ）位于饱和容器内部用于加热液体化学品的加热器，该加热器在液体中垂直延伸液体化学品液面高度的至少一半的距离；和（ｅ）用于将饱和气体的压力控制到所需值的装置。本发明还涉及控制传送汽化液体化学品的新方法与系统。本发明特别适用于半导体制造工业。 |