静电沉积器的气体调节装置
申请专利号 85104328
专利申请日 19850607
名称 静电沉积器的气体调节装置
公开(公告)号 1005422
公开(公告)日 19861203
类别 B03C 3/01
申请(专利权)人 贝尔科科技公司
地址 美国新泽西州利文斯顿
发明(设计)人 特利尼、福特
专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公司
代理人 杨厚昌
摘要
工厂静电沉积器中能接受空气源及含硫气源的装置包括:具输入口和输出口并与空气源及含硫气源相连能至少提供气态氧化硫的硫磺装置;具输出口且其输入口与硫磺装置相连并转化气态氧化硫成调节媒质的转化器;与转化器的输出相连并提供表示转化器出口的转化温度信号的传感器;与硫磺装置及传感器相连以便按转化温度信号改变与流入装置中的气流相关的能量流率的调制器;与转化器的输出相连以输送调节媒质至沉积器的输送装置.
主权项
在工业性车间的静电沉积器中调节气体用的接受一个空气源和一个含硫气体源的装置包括:  一个具有出口和入口的硫磺装置,所述硫磺装置与所述含硫气体源和空气源相连通,至少用来提供气态的氧化硫;  一个转化装置具有一个出口和一个入口,入口与所述硫磺装置的出口相连通,用来将所述气态的氧化硫转化成为一种调节媒质;  一个传感器装置与所述转化装置的出口相连接,用来提供一个转化温度的信号,指示出所述转化装置出口处的温度;  一个调制装置与所述硫磺装置和所述传感装置相连接,用来按照所述转化温度信号来改变与从空气源流入所述装置中的空气流量相关的能量流率;  一个输送装置与所述转化装置的出口相连接,用来把上述调节媒质送入该静电沉积器中。

    0 人评论

    提交您的看法