| 申请专利号 |
86105330 |
| 专利申请日 |
19860830 |
| 名称 |
微孔筛的制造方法 |
| 公开（公告）号 |
1009062 |
| 公开（公告）日 |
19870304 |
| 类别 |
B07B 1/00、C25D 1/08、G03F 7/00 |
| 申请（专利权）人 |
巴伊兰大学 |
| 地址 |
以色列·拉马特冈 |
| 发明（设计）人 |
莫德.蔡.多伊奇、塔马.兰多、理查德.E.戈登 |
| 专利代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人 |
陶增炜 章社杲 |
| 摘要 |
| 一种靠与刚性框架成为一体或靠其厚度增加到明显能够经受弯曲的程度而具有更高的抗机械变形的能力的普通细软的微孔筛． |
| 主权项 |
| 在制做微孔筛的方法中，包括： （ａ）一层光致抗蚀剂施加在一个导电基板上； （ｂ）使抗光蚀剂的预选区域定影，产生以定影的光致抗蚀剂的间断区域格栅状形式的图形表面， （ｃ）使去除剩余的光致抗蚀剂，暴露导电基板的连续区域。 （ｄ）电镀该基板 （ｅ）去除基板和定影的光致抗蚀剂，产生成品的微孔筛； 改进包括使成品的微孔筛具有更大的刚性和更高的抗机械变形的能力，特征在于： 在步骤（ａ）中提供一层至少６微米高的光致抗蚀剂。 |