用光学手段对片状元件进行外观检验并对所检验的片状元件进行分类的方法和装置
申请专利号 89102024
专利申请日 19890228
名称 用光学手段对片状元件进行外观检验并对所检验的片状元件进行分类的方法和装置
公开(公告)号 1038343
公开(公告)日 19891227
类别 B07C 5/02、G01B 11/30、G01N 21/88
申请(专利权)人 TDK株式会社
地址 日本东京都
发明(设计)人 水野亨、北岛保彦
专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 范本国
摘要
本发明为一种用光学手段对片子进行外观检验并对所述片子分类的方法,包含下列步骤:把片子送上片子传送体,使所述片子传送体上沿一预定方向移动;当片子在传送体上移动时,使片子彼此分开一个接一个地停在两个预定的检验位置的每一个上;使光线直射和斜射到位于上述预定检验位置之一的一个片子上,用二个电视摄象机将上述片子的光学图象以视频信号的形式采集下来并进行检验和分类。
主权项
一种用光学手段对片状元件进行外观检验并对所检验的片状元件进行分类的方法,其步骤包括:  (a)、把片状元件送上片子传送装置,使所述片状元件在所述片子传送装置上沿预定方向移动;  (b)、在所述的片状元件在所述的片子传送装置上移动时,使所述的片状元件逐个彼此分开,以使它们一个接一个地停在两个预定的检验位置的每一个上;  (c)、使光线直射和斜射到位于所述的预定检验位置之一的一个片状元件上,用第一号电视摄象机将所述的片状元件的底表面和顶表面之一的光学图象以视频信号的形式采集起来;  (d)、使光线直射和斜射位于另一个预定检验位置上的所述的片状元件上,用第二号电视摄象机将所述的片状元件的底表面和顶表面中另一面的光学图象以视频信号的形式采集起来;  (e)、将所述的视频信号送至各图象处理部,每个图象处理部至少包括一个模拟--数字转换单元,一个视频存贮器和一个中央处理单元,在所述图象处理部中处理所述的视频信号并获得有关所述的片状元件的外观以及所述片状元件处于所述的片子传送装置中的每一个所述的预定检验位置上的倾角的数据,根据上述数据检查所述片子的外观是合格还是有缺陷;  (f)、然后根据上述结果对片状元件进行分类。

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