切割有机膜的方法
申请专利号 88100613
专利申请日 19880203
名称 切割有机膜的方法
公开(公告)号 1020209
公开(公告)日 19880817
类别 B26F 3/00
申请(专利权)人 三井化学株式会社
地址 日本东京都
发明(设计)人 贺屋敏男、藤本诚
专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公司
代理人 林道棠
摘要
一片有机膜被展平在,或粘附于一框架或一基片上,而薄膜伸出框架或基片外那部份用使一注射用的注射管状针管接触或逼近框架或基片的侧面端表面,同时将针管沿着该侧面端表面移动并从针管喷射出一种有机溶剂来沿着框架或基片侧面端表面溶解该膜的方法切除。用此方法,有机膜可以被切割而且不产生诸如切屑这类的异物。
主权项
一个器件在生产过程中有一个有机膜粘附在,或紧密地粘附在一个框架或一个基片上,在这过程中的一种切割有机膜的方法,其特征在于这方法包括使一个注射用的注射管状的针管接触或逼近框架的侧面端表面,并同时沿该侧面端表面移动针管,从针管喷射出能够溶解该有机膜的有机溶剂,从而用溶解方法将薄膜沿框架切割。

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